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用途

NewView7000系列光学轮廓仪以其极高的精密度和准确度定性和定量地反映出样品的表面粗糙度、台阶高度、关键部位的尺寸以及样品的形貌。测量过程精密，高速，非接触，且样品无需特殊处理。

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原理

非接触、三维白光扫描干涉仪

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功能

主要应用于：测量动态MEMS设备； 薄膜分析应用； 测量亚纳米表面形貌； 机械加工中的应用，油泵油嘴机械零件表面形貌粗糙度，平行度厚度检测。

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检测对象

各种材料的表面：透明，不透明，镀膜，非镀膜，反射，弱反射

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技术参数

纵向扫描范围

150μm，可拓展到20mm

纵向分辨率

＜0.1nm

横向分辨率

0.36～9.5μm，与所选物镜有关

扫描速度

≤26μm/sec,与所选的CCD和扫描模式有关

最大数据点

307200，可选984064

RMS重复性

＜0.01 nm， RMSσ

台阶测量

准确度 ≤ 0.75%

重复性≤ 0.1% @ 1σ